碳化矽的歷史沿革

   碳化矽是由美國人艾奇遜在1891年電熔金剛石實驗時☁│，在實驗室偶然發現的一種碳化物☁│，當時誤認為是金剛石的混合體☁│，故取名金剛砂☁│，1893年艾奇遜研究出來了工業冶煉碳化矽的方法☁│，也就是大家常說的艾奇遜爐☁│，一直沿用至今☁│，以碳質材料為爐芯體的電阻爐☁│，通電加熱石英SIO2和碳的混合物生成碳化矽▩✘₪·。

關於碳化矽的幾個事件

   1905年 *次在隕石中發現碳化矽

   1907年 *只碳化矽晶體發光二極體誕生

   1955年 理論和技術上重大突破☁│，LELY提出生長高品質碳化概念☁│，從此將SiC作為重要的電子材料

   1958年 在波士頓召開*次*碳化矽會議進行學術交流

   1978年 六▩↟₪•、七十年代碳化矽主要由前蘇聯進行研究▩✘₪·。到1978年首次採用“LELY改進技術”的晶粒提純生長方法

   1987年～至今以CREE的研究成果建立碳化矽生產線☁│，供應商開始提供商品化的碳化矽基